Wafer, Glass, SiC, Shapphire,,, 기판 이물 검사 장치

 

 

상기 YPI 이물 검사장치는 Wafer 뿐만 아니라 Glass(LCD,PDP.OLED,GaAs,Sapphire,,) 등의 투명한 기판(사각형도 적용 가능) 등에도 적용이 가능하며, 표면의 이물을 최소 70nm Size 부터 Size를 구분하여 측정이 가능한 설비입니다.또한 사용자 분들의 입장에서 만들어진 것으로서 Data 저장 기능과 높은 정확도, 재현성을 갖추고도 매우 저렴한 가격에 공급해 드리고 있는 제품입니다.Applications : Wafer 이물 검사(Silicon, GaAs, Sapphire, Glass etc,,,) Glass 이물 검사(LCD, PDP, OLED etc,,,) 측히 SiC, GaN, LT 전용 Inspection장비도 있습니다. Ceramic Substrate,,, ・Top and back isolation ・Available for separating front and back with autofocus sensor

Work size Max 200 mmｘ200 mm（ more than 200mm negotiable ） Scanning system X-Y scanning ／θ－X scanning （spiral scanning） Throughput / takt time □ 200 mm 4min／φ200 mm 3min Work placement Automatically by transfer robot （ back adsorption／edge clamp） Outer dimensions W 1800 x D 1230 x H 2151 mm Net Weight 1000 kg Power consumption 1.5 kW ( 100V ) Testable substrates Quartz、Sapphires、SiC substrates、SiC substrate with epitaxial layer, etc. Minimum detectable particle size Quartz: 0.15 μm

Contact : 031-273-2438